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微纳几何结构标准物质

 

 

 

 

 

1.用于椭偏仪等膜厚仪的校准：

 

 

标准样品/物质厚度：20、70、160、400和1000 nm

 

 

 

2.用于台阶仪、轮廓仪等的校准：

 

 

 

台阶高度：50、100、200、500和1000 nm

 

 

 

3.用于扫描电镜、AFM等的校准：

 

 

周期结构：400、1000 和2000 nm